子孔径拼接在米量级平面光学元件面形误差检测中的应用
文献类型：会议论文
| 作者 | 邵建达; 周游; 刘世杰; 白云波; 张志刚 |
| 出版日期 | 2016 |
| 中文摘要 | 应用于高功率激光装置中的光学元件具有尺寸大、精度高、数量多等特点,包括偏振片、钕玻璃片、反射镜以及脉冲压缩光栅等大口径平面光学元件,其中大部分光学元件为矩形,外形尺寸(对角线)都接近甚至超过了米量级。利用大口径平面干涉仪(口径最大到Φ800mm),基于斜入射的测量方法可以满足部分口径小于1m的矩形光学元件面形以及反射波前误差的检测,但是对于元件尺寸超过1m的光学元件,例如 |
| 会议录 | 第十六届全国光学测试学术交流会摘要集
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| 语种 | 中文 |
| 源URL | [http://ir.siom.ac.cn/handle/181231/27421]  |
| 专题 | 上海光学精密机械研究所_中科院强激光材料重点实验室 |
| 作者单位 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 邵建达,周游,刘世杰,等. 子孔径拼接在米量级平面光学元件面形误差检测中的应用[C]. 见:. |
入库方式： OAI收割
来源：上海光学精密机械研究所
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