光刻机偏振照明系统偏振态测量实验结果
文献类型：会议论文
| 作者 | 蔡燕民; 步扬; 王向朝 |
| 出版日期 | 2016 |
| 中文摘要 | 偏振照明系统是浸液光刻机增强分辨率的标准配置,针对浸液光刻机偏振照明系统在安装集成时偏振参数检测的需求,本课题组设计制造了一套偏振照明系统偏振态检测装置,为偏振照明系统安装集成时的故障诊断、性能评估等提供依据。该偏振检测装置实验的配置如图1所示,在传统光刻照明系统中增加偏振分束棱镜PBS产生X方向 |
| 会议录 | 第十六届全国光学测试学术交流会摘要集
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| 语种 | 中文 |
| 源URL | [http://ir.siom.ac.cn/handle/181231/27461]  |
| 专题 | 上海光学精密机械研究所_信息光学与光电技术实验室 |
| 作者单位 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 蔡燕民,步扬,王向朝. 光刻机偏振照明系统偏振态测量实验结果[C]. 见:. |
入库方式： OAI收割
来源：上海光学精密机械研究所
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