基于表面等离子体共振效应的金属薄膜参数测量技术
文献类型：会议论文
| 作者 | 谷利元; 曾爱军; 胡国行; 贺洪波; 黄惠杰 |
| 出版日期 | 2016 |
| 中文摘要 | 1.引言金属薄膜作为常用的薄膜材料,在光学,半导体等领域有着十分广泛的应用,因而精确测定其参数有着重要意义。椭偏技术作为一种常用的薄膜参数测量技术,虽然有着非破坏性,非接触性,测量精度高等优点,但是其后期数据处理过程繁琐复杂,不能实现快速测量。为实现对金属薄膜参数的快速测量,本文研究了一种基于表面等离子体共振效应(SPR)的金属薄膜参数测量技术。 |
| 会议录 | 第十六届全国光学测试学术交流会摘要集
 |
| 语种 | 中文 |
| 源URL | [http://ir.siom.ac.cn/handle/181231/27468]  |
| 专题 | 上海光学精密机械研究所_信息光学与光电技术实验室 |
| 作者单位 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 谷利元,曾爱军,胡国行,等. 基于表面等离子体共振效应的金属薄膜参数测量技术[C]. 见:. |
入库方式： OAI收割
来源：上海光学精密机械研究所
浏览0
下载0
收藏0
其他版本
除非特别说明，本系统中所有内容都受版权保护，并保留所有权利。