轴锥镜锥角检测方法研究
文献类型：会议论文
| 作者 | 曾爱军; 魏张帆; 袁乔; 张运波; 黄惠杰 |
| 出版日期 | 2016 |
| 中文摘要 | 1.引言轴锥镜是一种旋转对称角锥形光学元件,由于它长的焦深以及窄的横向宽度,被广泛应用于成像光学系统、激光束整形等方面。在投影光刻机中,轴锥镜可以将传统照明模式转换成环形照明模式,是其照明系统的核心元器件之一,加工过程中需要精确地检测其锥角大小。本文提出了一种利用自准直电子经纬仪检测轴锥镜锥角大小的方法,此方法操作简单、可检测任意锥角,且可以给出锥角大小的分布。 |
| 会议录 | 第十六届全国光学测试学术交流会摘要集
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| 语种 | 中文 |
| 源URL | [http://ir.siom.ac.cn/handle/181231/27475]  |
| 专题 | 上海光学精密机械研究所_信息光学与光电技术实验室 |
| 作者单位 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 曾爱军,魏张帆,袁乔,等. 轴锥镜锥角检测方法研究[C]. 见:. |
入库方式： OAI收割
来源：上海光学精密机械研究所
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