硅微机械陀螺仪的稳定性研究
文献类型：学位论文
| 作者 | 刘楠 |
| 答辩日期 | 2018-05-25 |
| 文献子类 | 硕士 |
| 授予单位 | 中国科学院研究生院 |
| 授予地点 | 北京 |
| 导师 | 宁瑾 |
| 关键词 | Mems 陀螺仪 稳定性 介质电荷 温度补偿 |
| 学位专业 | 微电子学与固体电子学 |
| 公开日期 | 2018-06-15 |
| 源URL | [http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/28646]  |
| 专题 | 半导体研究所_半导体集成技术工程研究中心 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 刘楠. 硅微机械陀螺仪的稳定性研究[D]. 北京. 中国科学院研究生院. 2018. |
入库方式： OAI收割
来源：半导体研究所
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