感应加热式MOCVD设备的模拟仿真与研制
文献类型：学位论文
| 作者 | 梅书哲 |
| 答辩日期 | 2018-06-02 |
| 文献子类 | 博士 |
| 授予单位 | 中国科学院大学 |
| 授予地点 | 北京 |
| 导师 | 王晓亮 |
| 关键词 | Mocvd 感应加热 温度均匀性 流场温场 建模仿真 |
| 学位专业 | 微电子学与固体电子学 |
| 学科主题 | 半导体材料 ; 半导体器件 |
| 公开日期 | 2018-06-11 |
| 源URL | [http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/28543]  |
| 专题 | 半导体研究所_中科院半导体材料科学重点实验室 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 梅书哲. 感应加热式MOCVD设备的模拟仿真与研制[D]. 北京. 中国科学院大学. 2018. |
入库方式： OAI收割
来源：半导体研究所
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