透射光学元件疵病测试装置及方法
文献类型：专利
| 作者 | 陈永权; 段亚轩; 赵建科; 李坤; 聂申; 宋琦 |
| 发表日期 | 2016-12-13 |
| 专利号 | CN201611147850.X |
| 国家 | 中国 |
| 文献子类 | 发明 |
| 英文摘要 | 为了解决传统测试方法耗时耗力、对光学元件内部的疵病测量受限的弊端，本发明提供了一种透射光学元件疵病的测试装置及方法，其中装置包括激光器、准直镜、定焦镜头、CCD、移动机构和采集控制计算机；所述准直镜设置在激光器的输出光路上；所述定焦镜头和CCD刚性连接组成成像系统，成像系统的监视面通过定焦镜头和CCD感光面成共轭关系；所述成像系统固定在移动机构上；所述移动机构与采集控制计算机相连。 |
| 公开日期 | 2017-06-13 |
| 语种 | 中文 |
| 状态 | 审查中-实审 |
| 源URL | [http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/29642]  |
| 专题 | 西安光学精密机械研究所_先进光学仪器研究室 |
| 作者单位 | 中国科学院西安光学精密机械研究所 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 陈永权,段亚轩,赵建科,等. 透射光学元件疵病测试装置及方法. CN201611147850.X. 2016-12-13. |
入库方式： OAI收割
来源：西安光学精密机械研究所
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