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扫描振镜振动参数的测量系统和测量方法

文献类型:专利

作者李坤; 陈永权; 赵建科; 薛勋; 刘尚阔; 曹昆; 段亚轩; 李晶; 王争锋; 昌明
发表日期2016-06-20
专利号CN201610443918.2
国家中国
文献子类发明
英文摘要本发明涉及一种扫描振镜振动参数的测量系统和方法,以解决现有技术测角范围小、频响低、精度低等问题。测量系统包括积分球光源、第一离轴抛物面反射镜、第二离轴抛物面反射镜、单点探测器、信号采集单元和时统设备。积分球光源的出光口处放有正弦光栅;第一离轴抛物面反射镜位于积分球光源的出射光路上;第二离轴抛物面反射镜位于第一离轴抛物面反射镜的出射光路上;待测扫描振镜位于第二离轴抛物面反射镜的出射光路上;单点探测器位于待测扫描振镜反射光束的汇聚点处,以接收正弦光栅像;时统设备用于将待测扫描振镜的电机与单点探测器的信号采集时间同步,并给出待测扫描振镜各角位置所对应的时刻;信号采集单元用于读取单点探测器的输出信号。
公开日期2016-11-09
语种中文
状态审查中-实审
源URL[http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/29665]  
专题西安光学精密机械研究所_检测技术研究中心
作者单位中国科学院西安光学精密机械研究所
推荐引用方式
GB/T 7714
李坤,陈永权,赵建科,等. 扫描振镜振动参数的测量系统和测量方法. CN201610443918.2. 2016-06-20.

入库方式: OAI收割

来源:西安光学精密机械研究所

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