大面积平行光高均匀度曝光机用自由曲面复眼设计
文献类型：期刊论文
| 作者 | 陈忠雨; 尹韶云 ; 孙秀辉; 江海波; 杜春雷
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| 刊名 | 激光与光电子学进展
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| 出版日期 | 2017-11-13 |
| 页码 | 1-13 |
| 关键词 | 光学设计 高均匀度 自由曲面 曝光机 复眼 |
| 英文摘要 | 大面积平行光曝光机是印刷线路板(PCB)、显示面板和触摸屏等电子产品重要的制造设备,由于采用复眼结合反射镜的非轴对称柯勒照明光路,其曝光均匀度只有85%左右,难以满足高精度加工制造的需求。本文针对此问题提出采用自由曲面复眼替代传统的球面复眼,建立了高均匀度复眼单元的自由曲面面形设计方法。通过光线追迹仿真实验分析,发现采用该方法,曝光均匀度较采用球面复眼从0.85提高到了0.91以上,满足了高精度加工制造所需的高均匀度曝光的要求。设计的自由曲面复眼面型连续,可以通过金刚石车削进行精密加工,有望在大面积平行光曝光机照明光路中得到广泛应用。 |
| 语种 | 中文 |
| 源URL | [http://119.78.100.138/handle/2HOD01W0/5151]  |
| 专题 | 集成光电技术研究中心 微纳制造与系统集成研究中心 |
| 作者单位 | (1) 中国科学院重庆绿色智能技术研究院集成光电技术研究中心(2)中国科学院大学 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 陈忠雨,尹韶云,孙秀辉,等. 大面积平行光高均匀度曝光机用自由曲面复眼设计[J]. 激光与光电子学进展,2017:1-13. |
| APA | 陈忠雨,尹韶云,孙秀辉,江海波,&杜春雷.(2017).大面积平行光高均匀度曝光机用自由曲面复眼设计.激光与光电子学进展,1-13. |
| MLA | 陈忠雨,et al."大面积平行光高均匀度曝光机用自由曲面复眼设计".激光与光电子学进展 (2017):1-13. |
入库方式： OAI收割
来源：重庆绿色智能技术研究院
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