一种石墨烯生长炉管内的石英管的清洗方法
文献类型:专利
作者 | 于本文![]() ![]() ![]() |
发表日期 | 2017-08-18 |
专利号 | 2015100830346 |
著作权人 | 重庆墨希科技有限公司 |
国家 | 中国 |
文献子类 | 发明专利 |
英文摘要 | 本发明涉及一种石墨烯生长炉管内的石英管的清洗方法,包括以下步骤:步骤一,将石墨烯生长炉的炉体升温至600‑900℃并保持恒温,同时向石墨烯生长炉内的石英管内通入氧气,持续时间1‑2小时;步骤二,待石墨烯生长炉的炉体内温度降至室温,使用含有硝酸铁的高岭土擦拭石英管内壁,直至石英管内壁上的附着物消失;步骤三,移除石英管内的高岭土,使用沾取酒精的无尘布擦拭石英管整个腔体;步骤四,待石英管内目检无残留物后,向石英管内通入氮气吹扫。本发明采用氧气燃耗的方法,除去碳物质残留,利用机械摩擦以及化学试剂去除生长基底物质残留,不需采购专用清洗机台,节省不菲的设备购置费,不需拆卸炉体内石英管,节省了设备维护时间。 |
分类号 | C23c16/26(2006.01)i ; c23c16/44(2006.01)i |
申请日期 | 2015-02-15 |
语种 | 中文 |
状态 | 已授权 |
源URL | [http://119.78.100.138/handle/2HOD01W0/5373] ![]() |
专题 | 微纳制造与系统集成研究中心 |
作者单位 | (1)重庆墨希科技有限公司; (2)中国科学院重庆绿色智能技术研究院 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 于本文,史浩飞,徐鑫,等. 一种石墨烯生长炉管内的石英管的清洗方法. 2015100830346. 2017-08-18. |
入库方式: OAI收割
来源:重庆绿色智能技术研究院
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