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一种石墨烯生长炉管内的石英管的清洗方法

文献类型:专利

作者于本文; 史浩飞; 徐鑫; 李占成; 钟达
发表日期2017-08-18
专利号2015100830346
著作权人重庆墨希科技有限公司
国家中国
文献子类发明专利
英文摘要

本发明涉及一种石墨烯生长炉管内的石英管的清洗方法,包括以下步骤:步骤一,将石墨烯生长炉的炉体升温至600‑900℃并保持恒温,同时向石墨烯生长炉内的石英管内通入氧气,持续时间1‑2小时;步骤二,待石墨烯生长炉的炉体内温度降至室温,使用含有硝酸铁的高岭土擦拭石英管内壁,直至石英管内壁上的附着物消失;步骤三,移除石英管内的高岭土,使用沾取酒精的无尘布擦拭石英管整个腔体;步骤四,待石英管内目检无残留物后,向石英管内通入氮气吹扫。本发明采用氧气燃耗的方法,除去碳物质残留,利用机械摩擦以及化学试剂去除生长基底物质残留,不需采购专用清洗机台,节省不菲的设备购置费,不需拆卸炉体内石英管,节省了设备维护时间。

分类号C23c16/26(2006.01)i ;  c23c16/44(2006.01)i
申请日期2015-02-15
语种中文
状态已授权
源URL[http://119.78.100.138/handle/2HOD01W0/5373]  
专题微纳制造与系统集成研究中心
作者单位(1)重庆墨希科技有限公司;  (2)中国科学院重庆绿色智能技术研究院
推荐引用方式
GB/T 7714
于本文,史浩飞,徐鑫,等. 一种石墨烯生长炉管内的石英管的清洗方法. 2015100830346. 2017-08-18.

入库方式: OAI收割

来源:重庆绿色智能技术研究院

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