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一种多孔碳纳米薄膜及其微测辐射热计

文献类型:专利

作者杨俊; 魏兴战; 汤林龙; 申钧; 周大华; 冯双龙; 史浩飞; 杜春雷
发表日期2017-07-18
专利号2016105690464
著作权人中国科学院重庆绿色智能技术研究院
国家中国
文献子类发明专利
英文摘要

本发明涉及一种多孔碳纳米薄膜及其微测辐射热计,碳纳米薄膜中sp2杂化状态的碳含量高于75%,薄膜的孔隙半径为30nm~500nm,孔隙率为30%~70%,多孔碳纳米薄膜的厚度为30nm~3000nm。采用两步刻蚀的方法制备:在溅射沉积碳纳米薄膜过程中通入氧气进行选择性刻蚀,形成孔隙结构;进而,引入超薄金属掩蔽,在氧气刻蚀气氛中进行二次刻蚀,最终形成具有较好孔隙率的多孔碳纳米薄膜;该多孔碳纳米薄膜可以应用于微测辐射热计中,作为红外吸收增强材料或者单独作为红外吸收层,不仅提高器件的红外吸收率和探测灵敏度,而且可以实现宽波段红外吸收,器件结构简单,工艺兼容,有优异的非制冷红外探测性能。

分类号B81b7/00(2006.01)i ;  b81b7/02(2006.01)i ;  b81c1/00(2006.01)i ;  g01j5/20(2006.01)i
申请日期2016-07-19
语种中文
状态已授权
源URL[http://119.78.100.138/handle/2HOD01W0/5382]  
专题微纳制造与系统集成研究中心
作者单位(1)中国科学院重庆绿色智能技术研究院
推荐引用方式
GB/T 7714
杨俊,魏兴战,汤林龙,等. 一种多孔碳纳米薄膜及其微测辐射热计. 2016105690464. 2017-07-18.

入库方式: OAI收割

来源:重庆绿色智能技术研究院

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