一种多孔碳纳米薄膜及其微测辐射热计
文献类型:专利
作者 | 杨俊![]() ![]() ![]() ![]() ![]() ![]() ![]() ![]() |
发表日期 | 2017-07-18 |
专利号 | 2016105690464 |
著作权人 | 中国科学院重庆绿色智能技术研究院 |
国家 | 中国 |
文献子类 | 发明专利 |
英文摘要 | 本发明涉及一种多孔碳纳米薄膜及其微测辐射热计,碳纳米薄膜中sp2杂化状态的碳含量高于75%,薄膜的孔隙半径为30nm~500nm,孔隙率为30%~70%,多孔碳纳米薄膜的厚度为30nm~3000nm。采用两步刻蚀的方法制备:在溅射沉积碳纳米薄膜过程中通入氧气进行选择性刻蚀,形成孔隙结构;进而,引入超薄金属掩蔽,在氧气刻蚀气氛中进行二次刻蚀,最终形成具有较好孔隙率的多孔碳纳米薄膜;该多孔碳纳米薄膜可以应用于微测辐射热计中,作为红外吸收增强材料或者单独作为红外吸收层,不仅提高器件的红外吸收率和探测灵敏度,而且可以实现宽波段红外吸收,器件结构简单,工艺兼容,有优异的非制冷红外探测性能。 |
分类号 | B81b7/00(2006.01)i ; b81b7/02(2006.01)i ; b81c1/00(2006.01)i ; g01j5/20(2006.01)i |
申请日期 | 2016-07-19 |
语种 | 中文 |
状态 | 已授权 |
源URL | [http://119.78.100.138/handle/2HOD01W0/5382] ![]() |
专题 | 微纳制造与系统集成研究中心 |
作者单位 | (1)中国科学院重庆绿色智能技术研究院 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 杨俊,魏兴战,汤林龙,等. 一种多孔碳纳米薄膜及其微测辐射热计. 2016105690464. 2017-07-18. |
入库方式: OAI收割
来源:重庆绿色智能技术研究院
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