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一种非金属衬底插层式氮掺杂制备石墨烯的夹具以及方法

文献类型:专利

作者张永娜; 李占成; 高翾; 黄德萍; 朱鹏; 姜浩; 史浩飞
发表日期2017-03-22
专利号2014107689640
著作权人中国科学院重庆绿色智能技术研究院
国家中国
文献子类发明专利
英文摘要

本发明涉及一种非金属衬底插层式氮掺杂制备石墨烯的方法,包括以下步骤:对层式支架和非金属衬底进行清洗和预处理;将非金属衬底放入层式支架上,将放置有非金属衬底的层式支架放入石英管中,向石英管内通入载气,将石英管内温度升至800‑1200℃,保温30‑80min,向石英管内通入碳源气体和氮源气体,生长时间为20‑100min;生长完毕后,停止加热,关闭碳源气体和氮源气体,继续通载气,待石英管内温度降至室温,取出层式支架。本发明利用层式支架直接在非金属衬底上掺杂生长石墨烯,生长有石墨烯的非金属衬底可以直接用于透明电极等电子器件的应用,减少了石墨烯透明电极等电子器件制备过程中的工序,降低了制作成本。

分类号C01b32/184(2017.01)i
申请日期2014-12-12
语种中文
状态已授权
源URL[http://119.78.100.138/handle/2HOD01W0/5422]  
专题微纳制造与系统集成研究中心
作者单位(1)中国科学院重庆绿色智能技术研究院;  (2)重庆墨希科技有限公司
推荐引用方式
GB/T 7714
张永娜,李占成,高翾,等. 一种非金属衬底插层式氮掺杂制备石墨烯的夹具以及方法. 2014107689640. 2017-03-22.

入库方式: OAI收割

来源:重庆绿色智能技术研究院

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