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直接在针尖表面共形覆盖石墨烯的方法

文献类型:专利

作者魏大鹏; 杨俊; 朱鹏; 余崇圣; 张永娜; 姜浩; 黄德萍; 李占成; 史浩飞; 杜春雷
发表日期2016-04-06
专利号2014101813362
著作权人中国科学院重庆绿色智能技术研究院
国家中国
文献子类发明专利
英文摘要

本发明公开了一种直接在针尖表面共形覆盖石墨烯的方法,是将洗净、干燥的针尖置PECVD真空腔室中,排尽腔室内空气,向腔室中填充保护气体,再将针尖加热至石墨烯生长温度,向腔室中通入碳源气体和起载流作用的保护气体,维持气压在石墨烯生长压强,设定射频功率至石墨烯生长功率,使石墨烯在针尖表面直接生长,待石墨烯生长结束后,关闭射频电源,停止向腔室中通入碳源气体,将针尖在保护气体和石墨烯生长压强下降温至室温,取出针尖,在针尖尖端及侧表面即覆盖有连续均匀的石墨烯薄膜;本发明方法操作简单,无需金属催化剂,无需复杂的石墨烯转移过程,制备温度低、周期短、成本低,适用于硅、钨等多种材质的针尖,可用于石墨烯覆盖针尖的批量化制备。

分类号C23c16/26(2006.01)i
申请日期2014-04-30
语种中文
状态已授权
源URL[http://119.78.100.138/handle/2HOD01W0/5507]  
专题微纳制造与系统集成研究中心
作者单位(1)中国科学院重庆绿色智能技术研究院
推荐引用方式
GB/T 7714
魏大鹏,杨俊,朱鹏,等. 直接在针尖表面共形覆盖石墨烯的方法. 2014101813362. 2016-04-06.

入库方式: OAI收割

来源:重庆绿色智能技术研究院

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