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一种微测辐射热计

文献类型:专利

作者魏兴战; 杨俊; 汤林龙; 申钧; 周大华; 冯双龙; 陆仕荣; 史浩飞; 杜春雷
发表日期2017-02-08
专利号2016207606074
著作权人中国科学院重庆绿色智能技术研究院
国家中国
文献子类实用新型
英文摘要

本实用新型涉及一种微测辐射热计,包括用于非制冷红外探测器的微测辐射热计微桥结构,包括顶层氮化硅,所述顶层氮化硅向下依次为红外热敏叠层薄膜、氮化硅支撑层,氮化硅支撑层与反射层之间通过支撑桥墩形成谐振腔;所述金属反射层位于硅衬底之上;所述的红外热敏叠层薄膜为热敏电阻材料与石墨烯材料构成的叠层结构,所述红外热敏叠层薄膜包括一至三层石墨烯材料,且石墨烯材料的上下两侧均为热敏电阻材料。该微测辐射热计能够宽波段红外吸收增强,从而提高器件的红外吸收率和探测灵敏度,器件结构简单,兼容MEMS工艺,适合批量生产。

分类号G01j5/20(2006.01)i
申请日期2016-07-19
语种中文
状态已授权
源URL[http://119.78.100.138/handle/2HOD01W0/5612]  
专题微纳制造与系统集成研究中心
有机半导体材料研究中心
作者单位(1)中国科学院重庆绿色智能技术研究院
推荐引用方式
GB/T 7714
魏兴战,杨俊,汤林龙,等. 一种微测辐射热计. 2016207606074. 2017-02-08.

入库方式: OAI收割

来源:重庆绿色智能技术研究院

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