一种基于碳纳米红外吸收层的微测辐射热计
文献类型：专利
| 作者 | 杨俊 ; 姬乙雄; 汤林龙; 冯双龙; 周大华; 申钧; 魏兴战; 史浩飞; 杜春雷
|
| 发表日期 | 2017-01-18 |
| 专利号 | 2016207639275 |
| 著作权人 | 中国科学院重庆绿色智能技术研究院 |
| 国家 | 中国 |
| 文献子类 | 实用新型 |
| 英文摘要 | 本实用新型涉及一种基于碳纳米红外吸收层的微测辐射热计，包括氮化硅支撑层(5)，所述氮化硅支撑层(5)向上依次为第一碳纳米红外吸收层(4)，热敏感层(3)，第二碳纳米红外吸收层(2)和氮化硅保护层(1)；所述第二碳纳米红外吸收层2和氮化硅保护层(1)构成微测辐射热计的顶部红外吸收层；所述第一碳纳米红外吸收层4和氮化硅支撑层(5)构成微测辐射热计的底部红外吸收层，底部红外吸收层与金属反射层(7)之间通过支撑桥墩(6)形成红外吸收谐振腔(9)；所述金属反射层(7)位于硅衬底(8)之上。该微测辐射热计采用碳纳米材料作为红外吸收增强层，不仅提高器件的红外吸收率和探测灵敏度，而且可以实现宽波段红外吸收，器件结构简单，有优异的非制冷红外探测性能。 |
| 分类号 | G01j5/10(2006.01)i |
| 申请日期 | 2016-07-19 |
| 语种 | 中文 |
| 状态 | 已授权 |
| 源URL | [http://119.78.100.138/handle/2HOD01W0/5614]  |
| 专题 | 微纳制造与系统集成研究中心 |
| 作者单位 | (1)中国科学院重庆绿色智能技术研究院 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 杨俊,姬乙雄,汤林龙,等. 一种基于碳纳米红外吸收层的微测辐射热计. 2016207639275. 2017-01-18. |
入库方式： OAI收割
来源：重庆绿色智能技术研究院
浏览0
下载0
收藏0
其他版本
除非特别说明，本系统中所有内容都受版权保护，并保留所有权利。