高均匀度的紫外LED曝光头
文献类型:专利
作者 | 尹韶云![]() ![]() ![]() ![]() ![]() |
发表日期 | 2015-01-28 |
专利号 | 2014206514324 |
著作权人 | 中国科学院重庆绿色智能技术研究院 |
国家 | 中国 |
文献子类 | 实用新型 |
英文摘要 | 本实用新型公开了一种高均匀度的紫外LED曝光头,包括紫外LED光源模组1、第一蝇眼透镜匀化系统2、第一准直场镜系统3、第二蝇眼透镜匀化系统4和第二准直场镜系统5,所述紫外LED光源模组发出的光束依次经过第一蝇眼透镜匀化系统、第一准直场镜系统、第二蝇眼透镜匀化系统、第二准直场镜系统。本实用新型采用多个紫外LED构成的紫外LED光源模组作为光源,并采用蝇眼透镜匀化系统和准直场镜系统解决了紫外LED光源模组发散角大的问题。由于LED具有效率高、寿命长的特点,因而,解决了现有技术中汞灯曝光机存在的能耗高、易损坏、不安全等问题,具有结构简单、成本低的特点。 |
分类号 | G03f7/20(2006.01)i |
申请日期 | 2014-11-03 |
语种 | 中文 |
状态 | 已授权 |
源URL | [http://119.78.100.138/handle/2HOD01W0/5697] ![]() |
专题 | 集成光电技术研究中心 微纳制造与系统集成研究中心 |
作者单位 | (1)中国科学院重庆绿色智能技术研究院 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 尹韶云,孙秀辉,董燕,等. 高均匀度的紫外LED曝光头. 2014206514324. 2015-01-28. |
入库方式: OAI收割
来源:重庆绿色智能技术研究院
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