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高均匀度的紫外LED曝光头

文献类型:专利

作者尹韶云; 孙秀辉; 董燕; 周维超; 吴鹏; 蔡文涛; 谭艾英; 杜春雷
发表日期2015-01-28
专利号2014206514324
著作权人中国科学院重庆绿色智能技术研究院
国家中国
文献子类实用新型
英文摘要

本实用新型公开了一种高均匀度的紫外LED曝光头,包括紫外LED光源模组1、第一蝇眼透镜匀化系统2、第一准直场镜系统3、第二蝇眼透镜匀化系统4和第二准直场镜系统5,所述紫外LED光源模组发出的光束依次经过第一蝇眼透镜匀化系统、第一准直场镜系统、第二蝇眼透镜匀化系统、第二准直场镜系统。本实用新型采用多个紫外LED构成的紫外LED光源模组作为光源,并采用蝇眼透镜匀化系统和准直场镜系统解决了紫外LED光源模组发散角大的问题。由于LED具有效率高、寿命长的特点,因而,解决了现有技术中汞灯曝光机存在的能耗高、易损坏、不安全等问题,具有结构简单、成本低的特点。

分类号G03f7/20(2006.01)i
申请日期2014-11-03
语种中文
状态已授权
源URL[http://119.78.100.138/handle/2HOD01W0/5697]  
专题集成光电技术研究中心
微纳制造与系统集成研究中心
作者单位(1)中国科学院重庆绿色智能技术研究院
推荐引用方式
GB/T 7714
尹韶云,孙秀辉,董燕,等. 高均匀度的紫外LED曝光头. 2014206514324. 2015-01-28.

入库方式: OAI收割

来源:重庆绿色智能技术研究院

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