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具有亚波长金属结构的芯片型光谱仪

文献类型:专利

作者杨正; 崔钧; 夏良平; 尹韶云; 史浩飞; 杜春雷
发表日期2018-06-05
专利号201410579188X
著作权人中国科学院重庆绿色智能技术研究院
国家中国
文献子类发明专利
英文摘要

本发明提供了一种具有亚波长金属结构的芯片型光谱仪,包括:亚波长滤波单元阵列和光电探测器阵列,光电探测器阵列设置在亚波长滤波单元阵列的出光侧,亚波长滤波单元阵列包括基底和附着在基底上的金属膜,金属膜上设置有多个呈阵列排列的开口,每行开口之间的开孔周期由亚波长金属孔阵列的光谱透射特性确定。本发明结构简单、无需机械移动、所有光学元件共光轴,便于集成,采用纳米量级薄膜,解决了光谱仪向芯片尺度小型化的难题。

分类号G01j3/28(2006.01)i
申请日期2014-10-26
语种中文
状态已授权
源URL[http://119.78.100.138/handle/2HOD01W0/6309]  
专题集成光电技术研究中心
微纳制造与系统集成研究中心
作者单位中国科学院重庆绿色智能技术研究院
推荐引用方式
GB/T 7714
杨正,崔钧,夏良平,等. 具有亚波长金属结构的芯片型光谱仪. 201410579188X. 2018-06-05.

入库方式: OAI收割

来源:重庆绿色智能技术研究院

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