具有亚波长金属结构的芯片型光谱仪
文献类型:专利
作者 | 杨正![]() ![]() ![]() ![]() |
发表日期 | 2018-06-05 |
专利号 | 201410579188X |
著作权人 | 中国科学院重庆绿色智能技术研究院 |
国家 | 中国 |
文献子类 | 发明专利 |
英文摘要 | 本发明提供了一种具有亚波长金属结构的芯片型光谱仪,包括:亚波长滤波单元阵列和光电探测器阵列,光电探测器阵列设置在亚波长滤波单元阵列的出光侧,亚波长滤波单元阵列包括基底和附着在基底上的金属膜,金属膜上设置有多个呈阵列排列的开口,每行开口之间的开孔周期由亚波长金属孔阵列的光谱透射特性确定。本发明结构简单、无需机械移动、所有光学元件共光轴,便于集成,采用纳米量级薄膜,解决了光谱仪向芯片尺度小型化的难题。 |
分类号 | G01j3/28(2006.01)i |
申请日期 | 2014-10-26 |
语种 | 中文 |
状态 | 已授权 |
源URL | [http://119.78.100.138/handle/2HOD01W0/6309] ![]() |
专题 | 集成光电技术研究中心 微纳制造与系统集成研究中心 |
作者单位 | 中国科学院重庆绿色智能技术研究院 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 杨正,崔钧,夏良平,等. 具有亚波长金属结构的芯片型光谱仪. 201410579188X. 2018-06-05. |
入库方式: OAI收割
来源:重庆绿色智能技术研究院
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