中国科学院机构知识库网格
Chinese Academy of Sciences Institutional Repositories Grid
无催化剂横向生长纳米线网电路的方法

文献类型:专利

作者陆文强; 何培培; 石彪; 冯双龙; 李昕; 王亮; 宋金会
发表日期2018-06-26
专利号2015102919335
著作权人中国科学院重庆绿色智能技术研究院
国家中国
文献子类发明专利
英文摘要

本发明提供一种无催化剂横向生长纳米线网电路的方法,应用于半导体领域,所述方法包括:1)提供一表面制备有周期性纳米硅柱的硅衬底和供盛放化学反应物的舟;2)将所述硅衬底制备有周期性纳米硅柱的一面朝向盛有化学反应物的舟进行放置;3)采用高温化学气相沉积方法于各纳米硅柱侧面棱角处制备出横向生长的氧化锌纳米线网。本发明将表面制备有周期纳米柱的硅电极衬底生长面向下放置在盛有化学反应物的舟上放置,进而能控制横向生长纳米线网形成纳米网桥接电路,不需要镀金膜作为催化剂,节省工序降低成本。

分类号H01l21/768(2006.01)i
申请日期2015-06-01
语种中文
状态已授权
源URL[http://119.78.100.138/handle/2HOD01W0/6367]  
专题微纳制造与系统集成研究中心
精准医疗单分子诊断技术研究中心
作者单位中国科学院重庆绿色智能技术研究院
推荐引用方式
GB/T 7714
陆文强,何培培,石彪,等. 无催化剂横向生长纳米线网电路的方法. 2015102919335. 2018-06-26.

入库方式: OAI收割

来源:重庆绿色智能技术研究院

浏览0
下载0
收藏0
其他版本

除非特别说明,本系统中所有内容都受版权保护,并保留所有权利。