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一种基于石墨烯夹层式红外吸收层的红外探测器

文献类型:专利

作者周大华; 魏兴战; 冯双龙; 申钧; 杨俊; 史浩飞; 杜春雷
发表日期2018-07-06
专利号2016105661758
著作权人中国科学院重庆绿色智能技术研究院
国家中国
文献子类发明专利
英文摘要

本发明公开了一种基于石墨烯夹层式红外吸收层的红外探测器,还公开了该红外探测器的制备方法。基于石墨烯夹层式红外吸收层包括热敏层,所述热敏层上方覆盖有石墨烯薄膜,下方贴附有Si3N4薄膜。到达热敏层的红外线有三种途径:部分红外线反射回石墨烯层,部分被热敏层吸收红生热,剩余的红外线透过热敏层辐照到Si3N4薄膜。本发明是让从热敏层反射和透射的红外线,尽可能又重新被反射回热敏层,形成“温室效应”的腔体结构。

分类号H01l31/101(2006.01)i ;  h01l31/18(2006.01)i
申请日期2016-07-19
语种中文
状态已授权
源URL[http://119.78.100.138/handle/2HOD01W0/6371]  
专题微纳制造与系统集成研究中心
作者单位中国科学院重庆绿色智能技术研究院
推荐引用方式
GB/T 7714
周大华,魏兴战,冯双龙,等. 一种基于石墨烯夹层式红外吸收层的红外探测器. 2016105661758. 2018-07-06.

入库方式: OAI收割

来源:重庆绿色智能技术研究院

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