一种基于石墨烯夹层式红外吸收层的红外探测器
文献类型:专利
作者 | 周大华![]() ![]() ![]() ![]() ![]() ![]() ![]() |
发表日期 | 2018-07-06 |
专利号 | 2016105661758 |
著作权人 | 中国科学院重庆绿色智能技术研究院 |
国家 | 中国 |
文献子类 | 发明专利 |
英文摘要 | 本发明公开了一种基于石墨烯夹层式红外吸收层的红外探测器,还公开了该红外探测器的制备方法。基于石墨烯夹层式红外吸收层包括热敏层,所述热敏层上方覆盖有石墨烯薄膜,下方贴附有Si3N4薄膜。到达热敏层的红外线有三种途径:部分红外线反射回石墨烯层,部分被热敏层吸收红生热,剩余的红外线透过热敏层辐照到Si3N4薄膜。本发明是让从热敏层反射和透射的红外线,尽可能又重新被反射回热敏层,形成“温室效应”的腔体结构。 |
分类号 | H01l31/101(2006.01)i ; h01l31/18(2006.01)i |
申请日期 | 2016-07-19 |
语种 | 中文 |
状态 | 已授权 |
源URL | [http://119.78.100.138/handle/2HOD01W0/6371] ![]() |
专题 | 微纳制造与系统集成研究中心 |
作者单位 | 中国科学院重庆绿色智能技术研究院 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 周大华,魏兴战,冯双龙,等. 一种基于石墨烯夹层式红外吸收层的红外探测器. 2016105661758. 2018-07-06. |
入库方式: OAI收割
来源:重庆绿色智能技术研究院
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