A TDC-Based nano-scale displacement measure method inside Scanning Electron Microscopes
文献类型：会议论文
| 作者 | Chao Zhou ; Yu Wang; Zhengxing Wu; Lu Deng; Zhiqiang Cao; Shuo Wang; Min Tan
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| 出版日期 | 2016-12 |
| 会议日期 | 2016-12 |
| 会议地点 | Qingdao, China |
| 源URL | [http://ir.ia.ac.cn/handle/173211/15410]  |
| 专题 | 自动化研究所_复杂系统管理与控制国家重点实验室_先进机器人控制团队 |
| 通讯作者 | Zhengxing Wu |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | Chao Zhou,Yu Wang,Zhengxing Wu,et al. A TDC-Based nano-scale displacement measure method inside Scanning Electron Microscopes[C]. 见:. Qingdao, China. 2016-12. |
入库方式： OAI收割
来源：自动化研究所
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