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A TDC-Based nano-scale displacement measure method inside Scanning Electron Microscopes

文献类型:会议论文

作者Chao Zhou; Yu Wang; Zhengxing Wu; Lu Deng; Zhiqiang Cao; Shuo Wang; Min Tan
出版日期2016-12
会议日期2016-12
会议地点Qingdao, China
源URL[http://ir.ia.ac.cn/handle/173211/15410]  
专题自动化研究所_复杂系统管理与控制国家重点实验室_先进机器人控制团队
通讯作者Zhengxing Wu
推荐引用方式
GB/T 7714
Chao Zhou,Yu Wang,Zhengxing Wu,et al. A TDC-Based nano-scale displacement measure method inside Scanning Electron Microscopes[C]. 见:. Qingdao, China. 2016-12.

入库方式: OAI收割

来源:自动化研究所

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