Plasma-enhanced ALD System for SRF Cavity
文献类型：会议论文
| 作者 | S.Kato; H.Hayano |
| 出版日期 | 2017 |
| 会议日期 | 2017 |
| 会议地点 | Lanzhou, China |
| 会议录 | Proceedings of the 18th International Conference on RF Superconductivity
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| 源URL | [http://ir.ihep.ac.cn/handle/311005/264898]  |
| 专题 | 学术会议_国际参会_JaCoW高能所参会会议_SRF |
| 作者单位 | KEK, Ibaraki, Japan |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | S.Kato,H.Hayano. Plasma-enhanced ALD System for SRF Cavity[C]. 见:. Lanzhou, China. 2017. |
入库方式： OAI收割
来源：高能物理研究所
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