激光直写机床系统正交性误差影响下计算全息图相位分析
文献类型：期刊论文
| 作者 | 郝腾; 郑立功 ; 张志宇; 王若秋; 国成立
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| 刊名 | 光学学报
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| 出版日期 | 2016 |
| 期号 | 10页码:385-392 |
| 关键词 | 测量 计算全息图 激光直写 标量衍射理论 对准区域 正交性误差 |
| 英文摘要 | 计算全息图(CGH)在非球面、自由曲面等光学元件的高精度检测中发挥着重要作用。激光直写机床导轨的正交性误差会影响CGH图案的绘制精度,进而在面形检测结果中引入像散误差。为定量研究激光直写机床导轨正交误差对CGH检测结果的影响,利用标量衍射理论,建立激光直写机床导轨角度误差模型,以CGH对准区域图案为例对机床导轨正交性误差的影响进行分析。实验结果表明在机床导轨正交性误差为800μrad时的均方根(RMS)值、峰谷值(PV)值和Zernike像散系数与理论值分别相差2.26%、2.33%、1.72%,从而验证所建立误差模型的正确性。 |
| 语种 | 中文 |
| 源URL | [http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/57755]  |
| 专题 | 长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 郝腾,郑立功,张志宇,等. 激光直写机床系统正交性误差影响下计算全息图相位分析[J]. 光学学报,2016(10):385-392. |
| APA | 郝腾,郑立功,张志宇,王若秋,&国成立.(2016).激光直写机床系统正交性误差影响下计算全息图相位分析.光学学报(10),385-392. |
| MLA | 郝腾,et al."激光直写机床系统正交性误差影响下计算全息图相位分析".光学学报 .10(2016):385-392. |
入库方式： OAI收割
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