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基于直线光栅尺的高精度定位平台的研制

文献类型:期刊论文

作者陈昊; 陈琦
刊名制造业自动化
出版日期2016-04-25
期号4页码:140-142
关键词直线光栅尺 摩擦驱动 精密定位 Pid控制
英文摘要在精密加工领域,为满足某些精密器件和设备的定位需求,研制了一种高精密定位平台。本定位平台以直线光栅尺为整个系统的位置反馈元件,以直流力矩电机为执行元件,采用摩擦驱动的方式,结合PID算法,完成了高精度定位平台的设计。定位平台可以在200mm的行程范围内,平均定位精度可以达到150nm。同时,设计开发了上位机控制程序,使人机交互更加友好。
语种中文
源URL[http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/57803]  
专题长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出
推荐引用方式
GB/T 7714
陈昊,陈琦. 基于直线光栅尺的高精度定位平台的研制[J]. 制造业自动化,2016(4):140-142.
APA 陈昊,&陈琦.(2016).基于直线光栅尺的高精度定位平台的研制.制造业自动化(4),140-142.
MLA 陈昊,et al."基于直线光栅尺的高精度定位平台的研制".制造业自动化 .4(2016):140-142.

入库方式: OAI收割

来源:长春光学精密机械与物理研究所

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