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利用相位差异波前传感检测结果实现三反光学系统的辅助装调

文献类型:期刊论文

作者薛栋林; 程强
刊名光学学报
出版日期2016
期号7页码:131-138
关键词成像系统 相位差异 波前传感 离轴三反光学系统 同轴三反光学系统 辅助装调
英文摘要阐述了基于相位差异(PD)的波前传感技术的基本原理;仿真分析了PD技术的噪声适应性及探测器离焦误差对精度的影响;利用PD技术的波前传感结果分别辅助装调了离轴、同轴三反光学系统,并分别将多视场的波前图与干涉检验的结果进行对比。实验结果表明,利用PD技术可实现三反光学系统的波前传感及辅助装调。与干涉检验的结果相比,波前传感结果的RMS偏差均优于0.02λ,检测精度满足工程需求。
语种中文
源URL[http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/57923]  
专题长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出
推荐引用方式
GB/T 7714
薛栋林,程强. 利用相位差异波前传感检测结果实现三反光学系统的辅助装调[J]. 光学学报,2016(7):131-138.
APA 薛栋林,&程强.(2016).利用相位差异波前传感检测结果实现三反光学系统的辅助装调.光学学报(7),131-138.
MLA 薛栋林,et al."利用相位差异波前传感检测结果实现三反光学系统的辅助装调".光学学报 .7(2016):131-138.

入库方式: OAI收割

来源:长春光学精密机械与物理研究所

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