光刻物镜中主动透镜的变形和像差特性
文献类型：期刊论文
| 作者 | 巩岩 ; 姚长呈
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| 刊名 | 光学学报
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| 出版日期 | 2016-04-10 |
| 期号 | 4页码:261-268 |
| 关键词 | 光学设计 主动光学 光刻物镜 热像差补偿 像散 |
| 英文摘要 | 高精度光刻投影物镜在工作过程中吸收激光能量产生热像差,在离轴照明模式(如偶极照明)下,热像散显著且随时间变化,传统的被动光学方法无法补偿此类像差。提出在折射式光刻投影物镜系统中使用主动光学的方法,通过力促动器作用在透镜上使镜片变形以补偿初阶热像散。采用有限元分析方法,分析了简化的折射平板在促动力作用下的变形特点和像差特性;用几何光学理论近似论证了该补偿方案的可行性,并且分析了促动器分布、促动力大小、促动器与平板接触区域尺寸以及支撑结构对平板变形的影响。结果表明,在优化的支撑结构下,主动平板可以较好地补偿系统初阶热像散和初阶四叶像差,为光刻系统热像差的补偿提供了一个思路。 |
| 语种 | 中文 |
| 源URL | [http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/57936]  |
| 专题 | 长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 巩岩,姚长呈. 光刻物镜中主动透镜的变形和像差特性[J]. 光学学报,2016(4):261-268. |
| APA | 巩岩,&姚长呈.(2016).光刻物镜中主动透镜的变形和像差特性.光学学报(4),261-268. |
| MLA | 巩岩,et al."光刻物镜中主动透镜的变形和像差特性".光学学报 .4(2016):261-268. |
入库方式： OAI收割
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