原子力显微镜探针批量制备工艺分析
文献类型：期刊论文
| 作者 | 李加东; 吴东岷; 张轲; 苗斌 |
| 刊名 | 微纳电子技术
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| 出版日期 | 2016-02-15 |
| 期号 | 2页码:119-123 |
| 关键词 | 原子力显微镜(Afm) 探针 绝缘衬底上的硅(Soi) 自锐式 曲率半径 |
| 英文摘要 | 为实现低成本原子力显微镜(AFM)探针的制备,开展了基于6英寸(1英寸=2.54 cm)绝缘衬底上的硅(SOI)的AFM探针制备方法的研究,实验分析了采用KOH湿法腐蚀纳米硅针尖的时间对针尖形貌的影响,给出了纳米硅针尖的缺陷类型以及产生缺陷针尖的原因,同时针对深硅干法刻蚀过程中散热不均的现象,提出采用导热系数高的黏接材料来改善散热问题。实验结果表明,基于6英寸SOI制备的AFM探针悬臂梁厚度偏差为±0.5μm,成品率大于90%,对制备的自锐式AFM探针与商用AFM探针进行了测试对比,自制AFM探针的扫描质量达到了当前商用探针的水平,满足形貌表征的需求。 |
| 语种 | 中文 |
| 源URL | [http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/57988]  |
| 专题 | 长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 李加东,吴东岷,张轲,等. 原子力显微镜探针批量制备工艺分析[J]. 微纳电子技术,2016(2):119-123. |
| APA | 李加东,吴东岷,张轲,&苗斌.(2016).原子力显微镜探针批量制备工艺分析.微纳电子技术(2),119-123. |
| MLA | 李加东,et al."原子力显微镜探针批量制备工艺分析".微纳电子技术 .2(2016):119-123. |
入库方式： OAI收割
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