双子孔径差分扫描光路装调精度研究
文献类型：期刊论文
| 作者 | 靳淳淇; 张晓辉 |
| 出版日期 | 2016-09-25 |
| 关键词 | 子孔径 线矢量 精度研究 光电探测系统 重构算法 倾斜误差 精度需求 附加误差 运动装置 变换矩阵 |
| 英文摘要 | <正>利用子孔径波面斜率离散采样的方法可重构大口径光电探测系统的波面轮廓,但是扫描机构引入的子孔径波面倾斜误差会在波面重构算法中产生附加误差,从而降低波面复原精度,这一问题在其他使用子孔径代替全口径测量的光学检测方法中也普遍存在。论文针对双子孔径差分扫描光路的装调精度需求,基于旋转变换矩阵和光线矢量追迹理论,分析了扫描运动装置中各项系统误差对测量值的影响。利用多项式拟 |
| 语种 | 中文 |
| 源URL | [http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/58019]  |
| 专题 | 长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 靳淳淇,张晓辉. 双子孔径差分扫描光路装调精度研究[J],2016. |
| APA | 靳淳淇,&张晓辉.(2016).双子孔径差分扫描光路装调精度研究.. |
| MLA | 靳淳淇,et al."双子孔径差分扫描光路装调精度研究".(2016). |
入库方式： OAI收割
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