大偏离度非球面检测畸变校正方法
文献类型：期刊论文
| 作者 | 高松涛 ; 武东城; 苗二龙
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| 刊名 | 中国光学
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| 出版日期 | 2017-06-15 |
| 页码 | 383-390 |
| 关键词 | 计算全息图 Cgh 畸变 非球面检测 |
| DOI | 0ECE1744FE4CDC38F16D3E9C8796F72C |
| 英文摘要 | 在高数值孔径(NA)投影光刻物镜中,随着数值孔径的增加,非球面的偏离度越来越大。对这种大偏离度非球面进行亚纳米量级的检测,一直是光学检测的一大难题。本文首先对一偏离度超过500μm的偶次高次非球面进行了计算全息图(Computer-Generated Hologram,CGH)设计,设计出了满足高精度面形检测和刻蚀加工要求的CGH。然后,针对此设计方案,定量分析了CGH的成像畸变及畸变对像差分析的影响。分析结果表明,不同径向位置的成像倍率偏差(畸变)最大达到了2.7∶1,并且由于畸变的存在,低阶像差衍生出了明显的高阶像差。最后,针对用CGH检测大偏离度非球面时出现的成像畸变,提出了采用光线追迹与最小二乘法相结合的成像畸变的校正方法,并通过实验验证了此方法的准确性。实验结果表明,畸变校正之后相对剩余残差小于0.2%,可以满足高精度非球面检测加工的要求。 |
| 语种 | 中文 |
| 源URL | [http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/58594]  |
| 专题 | 长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 高松涛,武东城,苗二龙. 大偏离度非球面检测畸变校正方法[J]. 中国光学,2017:383-390. |
| APA | 高松涛,武东城,&苗二龙.(2017).大偏离度非球面检测畸变校正方法.中国光学,383-390. |
| MLA | 高松涛,et al."大偏离度非球面检测畸变校正方法".中国光学 (2017):383-390. |
入库方式： OAI收割
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