4m口径SiC反射镜原位检测用静压支撑系统
文献类型：期刊论文
| 作者 | 胡海飞 ; 赵宏伟; 刘振宇; 罗霄; 张学军
|
| 刊名 | 光学精密工程
 |
| 出版日期 | 2017-10-15 |
| 页码 | 2607-2613 |
| 关键词 | 超大sic反射镜 原位光学检测 静压支撑系统 刚度差异 面形精度 |
| DOI | 646703BEF90129B4973235EFBE385097 |
| 英文摘要 | 研制了一套用于4m SiC反射镜原位检测的静压支撑系统,以降低超大口径SiC反射镜离线检测的风险,提高其制造效率。首先,推导了单元刚度的解析式,确定了其中关键因素;然后,对支撑单元进行抽样测试,结合解析式预测了支撑群组中单元的工作刚度。最后,通过密封性测试和反射镜原位检测,验证了支撑系统的稳定性;通过有限元模拟,计算了系统的重力卸载面形精度。结果表明:5个单元连组时,单元刚度约为1.9kN/mm,刚度值分布在±3%误差区间;独立单元刚度可高至15kN/mm;3种分组单元刚度预测值分别为1.7,1.1和0.8kN/mm。支撑系统空载时管路压强变化缓慢,表明密封性良好;用该系统支撑4m反射镜时,11天内高度绝对变化量小于50μm,相对变化量小于20μm。54个单元刚度随机分布时,镜面面形高阶残差(RMS)为20nm。提出的系统基本满足原位检测的稳定性和精度要求。 |
| 语种 | 中文 |
| 源URL | [http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/58688]  |
| 专题 | 长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 胡海飞,赵宏伟,刘振宇,等. 4m口径SiC反射镜原位检测用静压支撑系统[J]. 光学精密工程,2017:2607-2613. |
| APA | 胡海飞,赵宏伟,刘振宇,罗霄,&张学军.(2017).4m口径SiC反射镜原位检测用静压支撑系统.光学精密工程,2607-2613. |
| MLA | 胡海飞,et al."4m口径SiC反射镜原位检测用静压支撑系统".光学精密工程 (2017):2607-2613. |
入库方式： OAI收割
浏览0
下载0
收藏0
其他版本
除非特别说明，本系统中所有内容都受版权保护，并保留所有权利。