MoC掺杂钌基合金无籽晶阻挡层微结构及热稳定性研究Microstructure and Thermal Stability of MoC Doped Ru-Based Alloy Films as Seedless Diffusion Barrier.
文献类型：期刊论文
| 作者 | 邹建雄; 刘波; 林黎蔚; 任丁; 焦国华; 鲁远甫; 徐可为 |
| 刊名 | ACTA METALLURGICA SINICA（金属学报）
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| 出版日期 | 2017 |
| 文献子类 | 期刊论文 |
| 英文摘要 | 采用磁控共溅射Ru和MoC靶制备非晶RuMoC薄膜。用四探针仪(FPPT)、X射线光电子能谱仪(XPS)、高分辨率透射电镜(HRTEM)和小角掠射X射线衍射仪(GIXRD)表征不同掺杂组分RuMoC薄膜和不同温度退火态Cu/RuMoC/p-SiOC∶H/Si多层膜系的方块电阻、成分和微观结构。结果表明,通过调控Ru膜中掺入Mo和C元素的含量能够实现RuMoC合金薄膜微结构设计及抑制膜体残余氧含量,且当MoC和Ru靶的溅射功率比为0.5时获得的RuMoCII薄膜综合性能最佳;500℃退火态RuMoC II薄膜中C-Mo和C-Ru化学键均未出现大量断裂,两者协同作用抑制了RuMoC薄膜再结晶和膜体氧含量升高,是Cu/RuMoCII/p-SiOC∶H/Si多层膜系具有高温热稳定性和优异电学性能的主要机制。 |
| URL标识 | 查看原文 |
| 语种 | 中文 |
| 源URL | [http://ir.siat.ac.cn:8080/handle/172644/11620]  |
| 专题 | 深圳先进技术研究院_集成所 |
| 作者单位 | ACTA METALLURGICA SINICA（金属学报） |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 邹建雄,刘波,林黎蔚,等. MoC掺杂钌基合金无籽晶阻挡层微结构及热稳定性研究Microstructure and Thermal Stability of MoC Doped Ru-Based Alloy Films as Seedless Diffusion Barrier.[J]. ACTA METALLURGICA SINICA（金属学报）,2017. |
| APA | 邹建雄.,刘波.,林黎蔚.,任丁.,焦国华.,...&徐可为.(2017).MoC掺杂钌基合金无籽晶阻挡层微结构及热稳定性研究Microstructure and Thermal Stability of MoC Doped Ru-Based Alloy Films as Seedless Diffusion Barrier..ACTA METALLURGICA SINICA（金属学报）. |
| MLA | 邹建雄,et al."MoC掺杂钌基合金无籽晶阻挡层微结构及热稳定性研究Microstructure and Thermal Stability of MoC Doped Ru-Based Alloy Films as Seedless Diffusion Barrier.".ACTA METALLURGICA SINICA（金属学报） (2017). |
入库方式： OAI收割
来源：深圳先进技术研究院
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