薄膜热膨胀系数测试技术研究
文献类型：期刊论文
| 作者 | 石磊; 蒋春磊; 陈光海; 唐永炳 |
| 刊名 | 集成技术
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| 出版日期 | 2017 |
| 文献子类 | 期刊论文 |
| 英文摘要 | 热膨胀系数是薄膜的重要热学性能参数，也是薄膜热应力和残余应力计算分析过程中的关键数据。文章基于热诱导弯曲原理，分别采用单基片法和双基片法对氮化钛(TiN)和铝(Al)薄膜的热膨胀系数进行测试，并着重对双基片法的测试误差和适用性进行了分析。研究结果表明，薄膜在不同材质基底上弹性模量的差异是影响双基片法薄膜热膨胀系数测试精度的重要因素。当不同材质基片上薄膜弹性模量差异较小时，双基片法测得的热膨胀系数与单基片法所获结果基本一致；而当不同材质基片上薄膜弹性模量相差较大时，双基片法将不再适用。此外，文章结合薄膜的形貌、结构和残余应力表征测试，对 TiN 和 Al 薄膜热膨胀系数与其块体材料的差异进行了分析，结果显示残余压应力会导致薄膜热膨胀系数增大，而残余拉应力则具有相反的效果。 |
| URL标识 | 查看原文 |
| 语种 | 中文 |
| 源URL | [http://ir.siat.ac.cn:8080/handle/172644/11754]  |
| 专题 | 深圳先进技术研究院_集成所 |
| 作者单位 | 集成技术 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 石磊,蒋春磊,陈光海,等. 薄膜热膨胀系数测试技术研究[J]. 集成技术,2017. |
| APA | 石磊,蒋春磊,陈光海,&唐永炳.(2017).薄膜热膨胀系数测试技术研究.集成技术. |
| MLA | 石磊,et al."薄膜热膨胀系数测试技术研究".集成技术 (2017). |
入库方式： OAI收割
来源：深圳先进技术研究院
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