基于白光显微干涉术的微纳结构三维形貌及其超分辨检测
文献类型：学位论文
| 作者 | 周毅1,2 |
| 答辩日期 | 2018-05-07 |
| 文献子类 | 博士 |
| 授予单位 | 中国科学院大学 |
| 授予地点 | 北京 |
| 导师 | 胡松 |
| 关键词 | 表面形貌检测 时域调制度 相位纵向拼接 超分辨显微成像 宽光谱 |
| 学科主题 | 工程与技术科学基础学科 |
| 源URL | [http://ir.ioe.ac.cn/handle/181551/8308]  |
| 专题 | 光电技术研究所_光电技术研究所博硕士论文 |
| 作者单位 | 1.中国科学院大学 2.中国科学院光电技术研究所 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 周毅. 基于白光显微干涉术的微纳结构三维形貌及其超分辨检测[D]. 北京. 中国科学院大学. 2018. |
入库方式： OAI收割
来源：光电技术研究所
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