三维微纳结构的光刻及其表面形貌测量方法的研究
文献类型：学位论文
| 作者 | 邓钦元1,2 |
| 答辩日期 | 2018-05-04 |
| 文献子类 | 博士 |
| 授予单位 | 中国科学院大学 |
| 授予地点 | 北京 |
| 导师 | 胡松 ; 杨勇 |
| 关键词 | 三维微纳结构 无掩模光刻 非线性 白光干涉 空间调制度 |
| 学科主题 | 工程与技术科学基础学科 |
| 源URL | [http://ir.ioe.ac.cn/handle/181551/8310]  |
| 专题 | 光电技术研究所_光电技术研究所博硕士论文 |
| 作者单位 | 1.中国科学院大学 2.中国科学院光电技术研究所 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 邓钦元. 三维微纳结构的光刻及其表面形貌测量方法的研究[D]. 北京. 中国科学院大学. 2018. |
入库方式： OAI收割
来源：光电技术研究所
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