基于表面等离子体的超分辨干涉光刻原理和方法研究
文献类型：学位论文
| 作者 | 刘洪超1,2,3 |
| 答辩日期 | 2018-05 |
| 文献子类 | 博士 |
| 授予单位 | 中国科学院研究生院 |
| 授予地点 | 北京 |
| 导师 | 王长涛 |
| 关键词 | 衍射极限 表面等离子体 超材料 超分辨 干涉光刻 |
| 学科主题 | 光学 |
| 语种 | 中文 |
| 源URL | [http://ir.ioe.ac.cn/handle/181551/8345]  |
| 专题 | 光电技术研究所_光电技术研究所博硕士论文 |
| 作者单位 | 1.中国科学院光电技术研究所 2.微细加工光学技术国家重点实验室 3.中国科学院大学 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 刘洪超. 基于表面等离子体的超分辨干涉光刻原理和方法研究[D]. 北京. 中国科学院研究生院. 2018. |
入库方式： OAI收割
来源：光电技术研究所
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