用于超薄透明材料厚度测量的共焦显微镜设计
文献类型：学位论文
| 作者 | 肖海东1,2 |
| 答辩日期 | 2018-05-09 |
| 文献子类 | 硕士 |
| 授予单位 | 中国科学院大学 |
| 授予地点 | 北京 |
| 导师 | 吴永前 |
| 关键词 | 超薄透明材料 厚度测量 共焦显微 光学设计 |
| 学科主题 | 应用光学 |
| 源URL | [http://ir.ioe.ac.cn/handle/181551/8402]  |
| 专题 | 光电技术研究所_光电技术研究所博硕士论文 |
| 作者单位 | 1.中国科学院光电技术研究所 2.中国科学院大学 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 肖海东. 用于超薄透明材料厚度测量的共焦显微镜设计[D]. 北京. 中国科学院大学. 2018. |
入库方式： OAI收割
来源：光电技术研究所
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