金锡薄膜的制备装置和方法
文献类型：专利
| 作者 | 孙广伟; 辛国锋; 皮浩洋; ... |
| 专利号 | ZL2014105714... |
| 著作权人 | 中国科学院上海光学精密机... |
| 文献子类 | 发明专利 |
| 公开日期 | 2016-06-08 |
| 申请日期 | 2014-10-23 |
| 源URL | [http://ir.siom.ac.cn/handle/181231/31556]  |
| 专题 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 孙广伟,辛国锋,皮浩洋,等. 金锡薄膜的制备装置和方法. ZL2014105714.... |
入库方式： OAI收割
来源：上海光学精密机械研究所
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