光栅高速直写装置
文献类型：专利
| 作者 | 范永涛; 徐文东; 郝春宁 |
| 专利号 | ZL2011101484... |
| 著作权人 | 中国科学院上海光学精密机... |
| 文献子类 | 发明专利 |
| 公开日期 | 2014-04-09 |
| 申请日期 | 2011-06-03 |
| 源URL | [http://ir.siom.ac.cn/handle/181231/31440]  |
| 专题 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 范永涛,徐文东,郝春宁. 光栅高速直写装置. ZL2011101484.... |
入库方式： OAI收割
来源：上海光学精密机械研究所
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