Calibration method of overlay measurement error caused by asymmetric mark
文献类型：期刊论文
| 作者 | Du, Juyou1; Dai, Fengzhao1; Bu, Yang1; Wang, Xiangzhao1 |
| 刊名 | APPLIED OPTICS
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| 卷号 | 57期号:33页码:9814 |
| ISSN号 | 1559-128X |
| 文献子类 | 期刊论文 ; Article |
| 出版者 | OPTICAL SOC AMER |
| 资助机构 | National Natural Science Foundation of China (NSFC) [61405210]; National Science and Technology Major Project of China [2017ZX02101006] ; National Natural Science Foundation of China (NSFC) [61405210]; National Science and Technology Major Project of China [2017ZX02101006] |
| 源URL | [http://ir.siom.ac.cn/handle/181231/30888]  |
| 专题 | 上海光学精密机械研究所_信息光学与光电技术实验室 |
| 作者单位 | 1.Chinese Acad Sci, Shanghai Inst Opt & Fine Mech, Lab Informat Opt & Optoelect Technol, Shanghai 201800, Peoples R China 2.Univ Chinese Acad Sci, Beijing 100049, Peoples R China |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | Du, Juyou,Dai, Fengzhao,Bu, Yang,et al. Calibration method of overlay measurement error caused by asymmetric mark[J]. APPLIED OPTICS,57(33):9814. |
| APA | Du, Juyou,Dai, Fengzhao,Bu, Yang,&Wang, Xiangzhao. |
| MLA | Du, Juyou,et al."Calibration method of overlay measurement error caused by asymmetric mark".APPLIED OPTICS 57.33 |
入库方式： OAI收割
来源：上海光学精密机械研究所
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