同轴吹气结构辅助吹气对飞秒激光深孔加工效率有着重要影响,但在加工过程中存在排渣效果较差等情况。为了提升排渣能力,采用ANSYS CFD软件分别仿真了同轴吹气、旁轴吹气以及双路吹气的流场分布,并设计双路辅助吹气实验平台,进行了理论分析和实验验证,取得了微孔内部及周围的动态流场和流速矢量分布,以及同轴、旁轴和双路吹气结构辅助下微孔加工后孔口形貌。结果表明,双路辅助吹气不但可以提升加工效率,同时也有助于工件表面洁净度的提升,对飞秒激光高效深孔加工的实现有着重要意义。