微通道板用微阵列基板的制备方法
文献类型：专利
| 作者 | 许彦涛 ; 郭海涛; 陆敏; 朱香平; 郭俊江; 邹永星; 彭波
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| 发表日期 | 2018-11-16 |
| 专利号 | CN201810510267.3 |
| 著作权人 | 中国科学院西安光学精密机械研究所 |
| 国家 | 中国 |
| 文献子类 | 发明专利 |
| 产权排序 | 1 |
| 其他题名 | 微通道板用微阵列基板的制备方法 |
| 英文摘要 | 本发明属于光电材料与器件领域，具体涉及一种微通道板用微阵列基板的制备方法，目的是改进微通道板基板的材料成分，提高微孔尺寸的一致性和内壁的光滑度，进而可以大大提高微通道板的增益、寿命、噪声等性能。本发明的技术方案为：一种微通道板用微阵列基板的制备方法，即首先采用正六边形玻璃棒和玻璃管拉制出玻璃毛细管和毛细玻璃棒，将毛细管排成六边形复丝棒，再将复丝棒拉成一次复丝，然后将一次复丝排成二次复丝棒，将二次复丝棒拉成二次复丝，将二次复丝和毛细玻璃棒排成三次复丝棒，最后用熔压炉熔压成型，经切割、抛光后得到微通道板基板。 |
| 公开日期 | 2018-11-16 |
| 申请日期 | 2018-05-24 |
| 语种 | 中文 |
| 状态 | 申请中 |
| 源URL | [http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/30939]  |
| 专题 | 西安光学精密机械研究所_先进光电与生物材料研发中心 其它单位_其它部门 |
| 作者单位 | 中国科学院西安光学精密机械研究所 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 许彦涛,郭海涛,陆敏,等. 微通道板用微阵列基板的制备方法. CN201810510267.3. 2018-11-16. |
入库方式： OAI收割
来源：西安光学精密机械研究所
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