一种楔形硅结构阵列的制作方法
文献类型：专利
| 作者 | 俞骁; 曾春红; 张宝顺 |
| 发表日期 | 2017-03-15 |
| 专利号 | 201410421996.3 |
| 著作权人 | 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 |
| 国家 | CN |
| 文献子类 | 发明 |
| 申请日期 | 2014-08-25 |
| 语种 | 中文 |
| 源URL | [http://ir.sinano.ac.cn/handle/332007/5751]  |
| 专题 | 苏州纳米技术与纳米仿生研究所_纳米加工公共平台 |
| 作者单位 | 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 俞骁；曾春红；张宝顺. 一种楔形硅结构阵列的制作方法. 201410421996.3. 2017-03-15. |
入库方式： OAI收割
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