探针型压力传感器及其制作方法
文献类型：专利
| 作者 | 樊英民; 刘争晖; 徐耿钊; 钟海舰; 黄增立; 徐科 |
| 发表日期 | 2017-02-22 |
| 专利号 | 201310668841.5 |
| 著作权人 | 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 |
| 国家 | CN |
| 文献子类 | 发明 |
| 申请日期 | 2013-12-11 |
| 语种 | 中文 |
| 源URL | [http://ir.sinano.ac.cn/handle/332007/5748]  |
| 专题 | 苏州纳米技术与纳米仿生研究所_测试分析平台 |
| 作者单位 | 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 樊英民；刘争晖；徐耿钊；钟海舰；黄增立；徐科. 探针型压力传感器及其制作方法. 201310668841.5. 2017-02-22. |
入库方式： OAI收割
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