晶片定位机构
文献类型：专利
| 作者 | 吴燕华; 李智; 曾中明; 张宝顺; 杨辉 |
| 发表日期 | 2017-12-01 |
| 专利号 | 201410172031.5 |
| 著作权人 | 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 |
| 国家 | CN |
| 文献子类 | 发明 |
| 申请日期 | 2014-04-25 |
| 语种 | 中文 |
| 源URL | [http://ir.sinano.ac.cn/handle/332007/5820]  |
| 专题 | 苏州纳米技术与纳米仿生研究所_大科学装置 |
| 作者单位 | 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 吴燕华；李智；曾中明；张宝顺；杨辉. 晶片定位机构. 201410172031.5. 2017-12-01. |
入库方式： OAI收割
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