晶格异变AlGaInAs外延层层的生长与应力弛豫研究
文献类型：学位论文
| 作者 | 何洋 |
| 答辩日期 | 2017-05-18 |
| 文献子类 | 博士 |
| 授予单位 | 中国科学技术大学 |
| 授予地点 | 合肥 |
| 导师 | 董建荣 |
| 学位专业 | 微电子学与固体电子学 |
| 语种 | 中文 |
| 源URL | [http://ir.sinano.ac.cn/handle/332007/5699]  |
| 专题 | 苏州纳米技术与纳米仿生研究所_纳米器件及相关材料研究部_董建荣团队 |
| 作者单位 | 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 何洋. 晶格异变AlGaInAs外延层层的生长与应力弛豫研究[D]. 合肥. 中国科学技术大学. 2017. |
入库方式： OAI收割
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