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多晶黑硅制绒处理液、应用其进行多晶硅片制绒的方法以及多晶黑硅制绒品

文献类型:专利

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作者叶继春; 高平奇; 廖明墩; 应智琴; 韩灿
发表日期2015-12-16
专利号CN105154982A
著作权人中国科学院宁波材料技术与工程研究所
国家中国
文献子类发明
英文摘要本发明提供一种多晶黑硅制绒处理液,其包括氢氟酸溶液、过氧化氢溶液和金属盐,其中所述氢氟酸溶液与过氧化氢溶液的体积比为1~25:5~40,所述氢氟酸溶液中氢氟酸的质量分数为40%~50%,所述过氧化氢溶液中过氧化氢的质量分数为20%~55%,所述金属盐为硝酸铜、硝酸银、硝酸钯、氯化铜、氯金酸、氯铂酸、铬酸钾、硫酸镍中的至少一种,所述金属盐的摩尔浓度为1μmol-L~105<-sup>μmol-L。本发明还提供一种应用多晶黑硅制绒处理液进行多晶硅片制绒的方法以及多晶黑硅制绒品。
公开日期2015-12-16
申请日期2015-07-08
状态公开
源URL[http://ir.nimte.ac.cn/handle/174433/15410]  
专题宁波材料技术与工程研究所_专利成果
推荐引用方式
GB/T 7714
叶继春,高平奇,廖明墩,等. 多晶黑硅制绒处理液、应用其进行多晶硅片制绒的方法以及多晶黑硅制绒品, 多晶黑硅制绒处理液、应用其进行多晶硅片制绒的方法以及多晶黑硅制绒品, 多晶黑硅制绒处理液、应用其进行多晶硅片制绒的方法以及多晶黑硅制绒品, 多晶黑硅制绒处理液、应用其进行多晶硅片制绒的方法以及多晶黑硅制绒品. CN105154982A. 2015-12-16.

入库方式: OAI收割

来源:宁波材料技术与工程研究所

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