一种工件表面镀金刚石膜装置及使用该装置制得的产品
文献类型：专利
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| 作者 | 吕继磊; 江南; 马付根; 朱金凤; 白华; 戴丹 |
| 发表日期 | 2016-10-05 |
| 专利号 | CN105986241A |
| 著作权人 | 中国科学院宁波材料技术与工程研究所 |
| 国家 | 中国 |
| 文献子类 | 发明 |
| 英文摘要 | 本发明涉及一种工件表面镀金刚石膜装置及使用该装置制得的产品，所述工件表面镀金刚石膜装置包括：镀膜模块、气控模块、温控模块。本发明还公开了一种用所述的工件表面镀金刚石膜装置调控反应腔温度的方法和一种使用所述工件表面镀金刚石膜装置沉积金刚石膜的方法以及使用所述方法制得的表面镀金刚石膜的工件。使用所述装置制得的表面镀金刚石膜的工件表面的金刚石膜厚度均匀，且金刚石膜与工件表面的结合性能优异。 |
| 公开日期 | 2016-10-05 |
| 申请日期 | 2015-01-30 |
| 状态 | 公开 |
| 源URL | [http://ir.nimte.ac.cn/handle/174433/15504]  |
| 专题 | 宁波材料技术与工程研究所_专利成果 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 吕继磊,江南,马付根,等. 一种工件表面镀金刚石膜装置及使用该装置制得的产品, 一种工件表面镀金刚石膜装置及使用该装置制得的产品, 一种工件表面镀金刚石膜装置及使用该装置制得的产品, 一种工件表面镀金刚石膜装置及使用该装置制得的产品. CN105986241A. 2016-10-05. |
入库方式： OAI收割
来源：宁波材料技术与工程研究所
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