一种MAX相陶瓷涂层及其制备方法和制备装置
文献类型：专利
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| 作者 | 黄峰; 舒瑞; 黄庆; 李朋; 孟凡平; 葛芳芳; 朱萍 |
| 发表日期 | 2017-04-19 |
| 专利号 | CN106567049A |
| 著作权人 | 中国科学院宁波材料技术与工程研究所 |
| 国家 | 中国 |
| 文献子类 | 发明 |
| 英文摘要 | 本发明公开了一种MAX相陶瓷涂层，此涂层组成为V2<-sub>Alx<-sub>C2‑x<-sub>，x＝0.7～1.5，涂层为柱状晶生长结构，每一个柱状晶由一层Al原子层和两层V原子层交替排列形成，且C原子层位于两层V原子层之间，涂层密度为4.5～5.2g-cm3<-sup>。本发明还公开了所述MAX相陶瓷涂层的制备方法，采用双靶磁控溅射法并辅助射频叠加中频的电源施加方式，在制备温度为550～650℃的情况下，在非晶基体上非外延生长出所述MAX相陶瓷涂层。该制备条件下获得的V2<-sub>Alx<-sub>C2‑x<-sub>涂层纯度达到了99.9％，涂层硬度在13～16GPa。此方法一步合成，成本较低，可控制性强，有利于MAX相涂层低温制备和多领域应用。 |
| 公开日期 | 2017-04-19 |
| 申请日期 | 2016-10-10 |
| 状态 | 公开 |
| 源URL | [http://ir.nimte.ac.cn/handle/174433/15608]  |
| 专题 | 宁波材料技术与工程研究所_专利成果 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 黄峰,舒瑞,黄庆,等. 一种MAX相陶瓷涂层及其制备方法和制备装置, 一种MAX相陶瓷涂层及其制备方法和制备装置, 一种MAX相陶瓷涂层及其制备方法和制备装置, 一种MAX相陶瓷涂层及其制备方法和制备装置. CN106567049A. 2017-04-19. |
入库方式： OAI收割
来源：宁波材料技术与工程研究所
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