一种湿法制备圆角化金字塔的方法
文献类型：专利
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| 作者 | 叶继春; 王丹; 曾俞衡; 高平奇; 廖明墩; 韩灿; 童慧 |
| 发表日期 | 2017-09-15 |
| 专利号 | CN107170845A |
| 著作权人 | 中国科学院宁波材料技术与工程研究所 |
| 国家 | 中国 |
| 文献子类 | 发明 |
| 英文摘要 | 本发明涉及一种湿法制备圆角化金字塔的方法。具体地，所述方法包括如下步骤：1)提供圆角化处理液和具有金字塔结构的硅片；2)在所述圆角化处理液中湿法处理所述具有金字塔结构的硅片，得到具有圆角化金字塔结构的硅片，其中，所述圆角化处理液包含如下组分：氢氟酸(HF)、硝酸(HNO3<-sub>)和醋酸(CH3<-sub>COOH)，其中，氢氟酸、硝酸和醋酸的体积比为1‑7：35‑100：15‑120，醋酸在所述圆角化处理液中的体积含量为7‑77％。所述方法可有效圆角化金字塔，并降低所得产物的缺陷态。 |
| 公开日期 | 2017-09-15 |
| 申请日期 | 2017-05-12 |
| 状态 | 公开 |
| 源URL | [http://ir.nimte.ac.cn/handle/174433/15799]  |
| 专题 | 宁波材料技术与工程研究所_专利成果 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 叶继春,王丹,曾俞衡,等. 一种湿法制备圆角化金字塔的方法, 一种湿法制备圆角化金字塔的方法, 一种湿法制备圆角化金字塔的方法, 一种湿法制备圆角化金字塔的方法. CN107170845A. 2017-09-15. |
入库方式： OAI收割
来源：宁波材料技术与工程研究所
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