用于研究多元薄膜结构和性能的实验装置
文献类型：专利
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| 作者 | 宋振纶; 聂霞; 冒守栋; 晏敏胜; 郑必长 |
| 发表日期 | 2015-06-10 |
| 专利号 | CN104694885A |
| 著作权人 | 中国科学院宁波材料技术与工程研究所 |
| 国家 | 中国 |
| 文献子类 | 发明 |
| 英文摘要 | 本发明提供了一种用于研究多元薄膜结构和性能的实验装置，包括真空室、溅射源、底盘和样品托盘，所述溅射源、所述底盘和所述样品托盘均安装在所述真空室内，所述样品托盘安装在所述底盘上，所述样品托盘设置在所述溅射源的溅射范围内。本发明的用于研究多元薄膜结构和性能的实验装置使用方便，使用时沉积条件相同，一致性好，能够快速辨识多元薄膜体系的结构和性能变化，给多元薄膜体系的研究提供准确参考。 |
| 公开日期 | 2015-06-10 |
| 申请日期 | 2013-12-05 |
| 状态 | 公开 |
| 源URL | [http://ir.nimte.ac.cn/handle/174433/15879]  |
| 专题 | 宁波材料技术与工程研究所_专利成果 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 宋振纶,聂霞,冒守栋,等. 用于研究多元薄膜结构和性能的实验装置, 用于研究多元薄膜结构和性能的实验装置, 用于研究多元薄膜结构和性能的实验装置, 用于研究多元薄膜结构和性能的实验装置. CN104694885A. 2015-06-10. |
入库方式： OAI收割
来源：宁波材料技术与工程研究所
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