基于金刚线切割的硅片的制绒预处理方法及硅片制绒方法
文献类型：专利
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| 作者 | 应智琴; 叶继春; 高平奇; 韩灿; 廖明墩 |
| 发表日期 | 2015-10-07 |
| 专利号 | CN104962998A |
| 著作权人 | 中国科学院宁波材料技术与工程研究所 |
| 国家 | 中国 |
| 文献子类 | 发明 |
| 英文摘要 | 本发明提供一种基于金刚线切割的硅片的制绒预处理方法，其包括如下步骤：a将氢氟酸溶液、过氧化氢溶液、金属盐和水混合得到预处理液；b将金刚线切割的硅片置于所述预处理液中进行预处理A，直到基本去除硅片上的切割纹；c用酸性溶液对经过预处理A处理的硅片进行清洗，以去除硅片上的金属颗粒；d将用酸性溶液清洗过的硅片置于预处理液中进行预处理B，在所述硅片上形成具均匀微纳结构的预处理绒面。本发明还提供一种基于金刚线切割的硅片的制绒方法。 |
| 公开日期 | 2015-10-07 |
| 申请日期 | 2015-07-08 |
| 状态 | 公开 |
| 源URL | [http://ir.nimte.ac.cn/handle/174433/15958]  |
| 专题 | 宁波材料技术与工程研究所_专利成果 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 应智琴,叶继春,高平奇,等. 基于金刚线切割的硅片的制绒预处理方法及硅片制绒方法, 基于金刚线切割的硅片的制绒预处理方法及硅片制绒方法, 基于金刚线切割的硅片的制绒预处理方法及硅片制绒方法, 基于金刚线切割的硅片的制绒预处理方法及硅片制绒方法. CN104962998A. 2015-10-07. |
入库方式： OAI收割
来源：宁波材料技术与工程研究所
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